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    激光微加工

    簡要描述:用于半導體芯片上連接線切割的高精度激光修整
    microVEGA FC 系統可針對半導體行業中的不同應用執行高吞吐量的激光微加工。該系統將高精度工藝與高動態性能相結合。因此,其可能的應用包括:
    數字邏輯電路的編程,
    數字電位器的修整,
    芯片上半導體存儲器的修復,
    失效微LED的移除。

    • 產品型號:microVEGA® FC
    • 廠商性質:代理商
    • 產品資料:
    • 更新時間:2025-09-04
    • 訪  問  量: 376

    詳細介紹

    用于半導體芯片上連接線切割的高精度激光修整



    microVEGA FC 系統可針對半導體行業中的不同應用執行高吞吐量的激光微加工。該系統將高精度工藝與高動態性能相結合。因此,其可能的應用包括:

    • 數字邏輯電路的編程,

    • 數字電位器的修整,

    • 芯片上半導體存儲器的修復,

    • 失效微LED的移除。



    得益于其高度靈活的工具配置,microVEGA FC 能夠處理 200 毫米和 300 毫米的晶圓,加工速度高達 400 毫米/秒,使其在成本、產量、良率和靈敏度方面成為理想的生產解決方案。

    microVEGA FC 采用微米級個位數的激光光斑,在半導體晶圓上連續移動。在此過程中,激光以高速選擇性地加工特定的微結構。由于這些結構尺寸微小(約 1-2 微米),因此要求激光光斑相對于這些結構具備很高的三維定位精度。為此,microVEGA FC 配備了集成的測量技術,以實現 100% 的工藝控制。


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