電容式位移傳感器探頭

什么是電容傳感器？

電容傳感器是一種通過測量兩個平行板之間線性位移來工作的裝置，其中一個板是傳感器本身，另一個板是傳感器所測量的物體——即目標(biāo)物。

典型的電容傳感系統(tǒng)

- 電容探頭，也稱為“傳感器探頭"，是一種金屬或陶瓷外殼，內(nèi)部裝有電容傳感器，用于檢測目標(biāo)物體。
- 測量模塊，也稱為“測量電路板"，包含傳感器的驅(qū)動電子元件，并提供傳感器的模擬輸出信號。
- 測量電路板輸出的模擬信號通常連接至客戶計算機(jī)中的A/D（模數(shù)）轉(zhuǎn)換卡。

傳感器構(gòu)造

如果沒有屏蔽環(huán)（保護(hù)電極），電場線可能會延伸到傳感器之外，并與其他接地表面或電場發(fā)生相互作用。通過使屏蔽環(huán)的電場與傳感器同相驅(qū)動，傳感器便只能與所需的目標(biāo)形成電場。

主動式與被動式電容傳感器

-被動式傳感器適用于大多數(shù)應(yīng)用場合。其探頭內(nèi)部不含驅(qū)動電子元件，因而具有出色的穩(wěn)定性和線性度。

-主動式傳感器在探頭內(nèi)包含特殊的驅(qū)動電路，專為需要高分辨率和高測量帶寬的“高動態(tài)"應(yīng)用而設(shè)計。

被動式電容探頭

主動式電容探頭

定制探頭

探頭可以通過多種方式進(jìn)行定制
-根據(jù)客戶需求定制探頭尺寸或形狀
-帶斜面切割的探頭前端
-采用通孔式安裝而非夾持式安裝的探頭
-高穩(wěn)定性選項——可與4810型高穩(wěn)定性測量儀選件配套使用

特殊用途探頭

-陶瓷探頭適用于高穩(wěn)定性應(yīng)用場合
-在被動式探頭設(shè)計中可使用因瓦合金（Invar）以提高熱穩(wěn)定性
-針對晶圓接地不良的應(yīng)用場景，提供可“補(bǔ)償"的探頭選項