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    ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統

    簡要描述:ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統 應用:高真空晶圓鍵合平臺促進“任何物上的任何東西"的共價鍵合

    • 產品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 產品資料:
    • 更新時間:2025-09-04
    • 訪  問  量: 4488

    詳細介紹

     ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統應用:高真空晶圓鍵合平臺促進“任何物上的任何東西”的共價鍵合

    一、簡介
    EVG ComBond高真空晶圓鍵合平臺(晶圓鍵合機)標志著EVG*的晶圓鍵合設備和技術產品組合中的一個新里程碑,可滿足市場對更復雜的集成工藝的需求。

    EVG ComBond支持的應用領域包括先進的工程襯底,堆疊的太陽能電池和功率器件到端MEMS封裝,高性能邏輯和“beyond CMOS”器件。EVG ComBond系統的模塊化集群設計提供了高度靈活的平臺,可以針對研發和高通量,大批量制造環境中的各種苛刻的客戶需求量身定制。

    EVG ComBond(晶圓鍵合機)促進了具有不同晶格常數和熱膨脹系數(CTE)的異質材料的鍵合,并通過其*的氧化物去除工藝促進了導電鍵界面的形成。EVG ComBond(晶圓鍵合機)高真空技術還可以實現鋁等金屬的低溫鍵合,這些金屬在周圍環境中會迅速重新氧化。對于所有材料組合,都可以實現無空隙和無顆粒的鍵合界面以及出色的鍵合強度。

    ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統特征
    高真空,對準,共價鍵合
    在高真空環境(<5·10 -8 mbar)中進行處理
    原位亞微米面對面對準精度
    高真空MEMS和光學器件封裝原位表面和原生氧化物去除
    優異的表面性能
    導電鍵合
    室溫過程
    多種材料組合,包括金屬(鋁)
    無應力鍵合界面
    高鍵合強度
    用于HVM和R&D的模塊化系統 
    多達六個模塊的靈活配置
    基板尺寸大為200毫米
    *自動化

    三、技術數據
    真空度
           處理:<7E-8 mbar
           處理:<5E-8毫巴

    集群配置
           處理模塊:小3個,大6個
           加載:手動,卡帶,EFEM

    可選的過程模塊:
           (晶圓鍵合機)鍵合模塊
             ComBond 激活模塊(CAM)
           (晶圓鍵合機)烘烤模塊
             真空對準模塊(VAM)

    晶圓直徑:高達200毫米 

     

     

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