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    紫外光納米壓印機(jī)從操作到優(yōu)化的全流程指南
    2025-12-19

    作為先進(jìn)的納米壓印設(shè)備,EVG7300紫外光納米壓印機(jī)憑借其300毫米晶圓處理能力、300納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)精度及模塊化設(shè)計(jì),成為半導(dǎo)體、光學(xué)元件及生物醫(yī)療領(lǐng)域的關(guān)鍵制造工具。本文從設(shè)備結(jié)構(gòu)、操作流程、關(guān)鍵參數(shù)調(diào)控及維護(hù)要點(diǎn)四方面,解析其高效使用的...

    • 2023-02-08

      Microsense電容式位移傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的非接觸式特點(diǎn)外,還具有信噪比高,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。目前,Microsense電容式位移傳感器在國(guó)內(nèi)研究所,高等院校、工廠等部門(mén)得到廣泛應(yīng)用,成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不能缺少的測(cè)試儀器。Microsense電容式位移傳感器的分類簡(jiǎn)介:1、被動(dòng)式:被動(dòng)式位移傳感器為一種非接觸式精密位置傳感器。基于追求最佳的線性和穩(wěn)定性而設(shè)計(jì),其測(cè)量帶寬高達(dá)20千...

    • 2023-01-30

      晶圓鍵合的概述:由于光刻的延遲和功率限制的綜合影響,制造商無(wú)法水平縮放,因此制造商正在垂直堆疊芯片設(shè)備,含三維集成技術(shù)。由于移動(dòng)設(shè)備的激增推動(dòng)了對(duì)更小電路尺寸的需求,這已變得至關(guān)重要,但這種轉(zhuǎn)變并不總是那么簡(jiǎn)單。三維集成方案可以采用多種形式,具體取決于所需的互連密度。圖像傳感器和高密度存儲(chǔ)器可能需要將一個(gè)芯片直接堆疊在另一個(gè)芯片上,并通過(guò)硅通孔連接,而系統(tǒng)級(jí)封裝設(shè)計(jì)可能會(huì)將多個(gè)傳感器及其控制邏輯放在一個(gè)重新分配層上。晶圓鍵合的業(yè)內(nèi)行情:EVGroup業(yè)務(wù)發(fā)展總監(jiān)ThomasU...

    • 2023-01-13

      半導(dǎo)體晶圓(晶片)的直徑為4到10英寸(10.16到25.4厘米)的圓盤(pán),在制造過(guò)程中可承載非本征半導(dǎo)體。它們是正(P)型半導(dǎo)體或負(fù)(N)型半導(dǎo)體的臨時(shí)形式。硅晶片是非常常見(jiàn)的半導(dǎo)體晶片,因?yàn)楣枋寝┝餍械陌雽?dǎo)體,這是由于其在地球上的大量供應(yīng)。半導(dǎo)體晶圓是從錠上切片或切割薄盤(pán)的結(jié)果,它是根據(jù)需要被摻雜為P型或N型的棒狀晶體。然后對(duì)它們進(jìn)行刻劃,以用于切割或切割單個(gè)裸片或方形子組件,這些單個(gè)裸片或正方形子組件可能僅包含一種半導(dǎo)體材料或多達(dá)整個(gè)電路,例如集成電路計(jì)算機(jī)處理器。劃刻并...

    • 2023-01-11

      一、用途光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一,按照用途可以分為好幾種:有用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī);有用于封裝的光刻機(jī);還有用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)。二、工作原理在加工芯片的過(guò)程中,光刻機(jī)通過(guò)一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過(guò)畫(huà)著線路圖的掩模,經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,然后使用化學(xué)方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經(jīng)過(guò)一次光刻的芯片可以...

    • 2023-01-10

      現(xiàn)在光刻機(jī)與我們的生活息息相關(guān),我們用的手機(jī),電腦等各種各樣的電子產(chǎn)品,里面的芯片制作離不開(kāi)光刻機(jī)。如今的世界是一個(gè)信息社會(huì),各種各樣的信息流在世界流動(dòng)。而光刻機(jī)的技術(shù)是保證制造承載信息的載體。在社會(huì)上擁有不可替代的作用。光刻機(jī)的技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域:平版印刷術(shù)用于在用戶不希望影響其整個(gè)樣品的工藝步驟(主要是沉積或蝕刻)之前對(duì)樣品進(jìn)行構(gòu)圖。在蝕刻之前,使用光刻技術(shù)來(lái)形成抗蝕劑保護(hù)層,該保護(hù)層僅將材料保留在存在抗蝕劑的位置(負(fù)圖案)。在使用沉積光刻進(jìn)行剝離之前,在沉積之后剝離抗蝕劑,僅...

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