岱美中國拿到半自動多點膜厚測量儀訂單(2023,06)

該客戶系湖北武漢的上市公司，是一家從事半導體工藝制程材料、半導體先進封裝材料、半導體顯示材料生產和研發(fā)的國家高新技術企業(yè)。公司在湖北省、長三角、珠三角廣泛布局，總資產超50億元。

Thetametrisis膜厚測量儀主要應用于客戶自研自產的光刻膠涂層材料。

ThetaMetrisis的核心技術是白光反射光譜（WLRS），它可以在從幾埃到毫米的超寬范圍內準確測量堆疊薄膜和厚膜的厚度和折射率。

FR-Scanner為半自動測量設備，通過移動晶圓片進行整片掃描記錄測量數據，具有高重復性、精確的反射率測量表現能力。薄膜從幾nm到幾百μm均可測量。FR-Scanner在準確性、精度、再現性和長期穩(wěn)定性方面提供了出色的性能。