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    自動化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統

    簡要描述:長達 150 毫米的自動化全場紫外納米壓印解決方案,采用 EVG 專有的 SmartNIL 技術

    • 產品型號:EVG720
    • 廠商性質:代理商
    • 產品資料:
    • 更新時間:2025-09-04
    • 訪  問  量: 2472

    詳細介紹

    EVG720 系統利用 EVG 創新的 SmartNIL 技術和材料專業知識,實現微米級和納米級結構的大規模制造。EVG720 系統采用 SmartNIL 技術,能夠在大面積上打印小至 40 nm* 的納米結構,具有較大的吞吐量和較低的擁有成本,非常適合下一代微流控和光子器件(如衍射光學元件 (DOE))的批量生產。

    *分辨率取決于工藝和模板


    特點


    · 具有復制保真度的批量驗證印記技術

    · 成熟的SmartNIL技術與多用途聚合物沖壓技術®

    · 集成壓印,UV固化脫模,和工作印章制作

    · 自動磁帶到磁帶處理加上半自動化的研發模式

    · 可選的頂部對齊

    · 可選的迷你環境

    · 開放平臺的所有商業可用的印記材料

    · 從研發到生產的可擴展性

    · 系統外殼,最佳的過程穩定性和可靠性

    product-720.jpg

    技術數據

    晶圓直徑(襯底尺寸):75至150毫米

    分辨率:≤ 40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

    過程支持:SmartNIL®

    曝光源:大功率LED(i-線)> 40mW/cm2

    對齊:可選頂部對中

    自動分離:支持

    迷你環境和氣候控制:可選

    工作印章制作:支持


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