FR-InLine-在線薄膜厚度測量儀

1、簡述

FR-InLine 是一款模塊化可擴展的在線薄膜厚度測量儀（膜厚儀），可進行在線非接觸測量 3nm-1mm 厚度范圍內的涂層。

FR-InLine 在線薄膜厚度測量儀(膜厚儀)并可以依據各種不同應用設置多個參數的實時測量，例如：反射率和透射率光譜、厚度、色座標。

FR-InLine 膜厚儀測量軟件可以在標準 Windws 10/11 中執行。

2、產品應用

• 透明和半透明涂層

• 眼鏡上的涂層

• 食品工業

• 光學薄膜

• 包裝

• 粘合劑

• 聚合物

• 可撓式電子和顯示器

• 其他各種工業……

（聯系我們了解您的應用需求）

3、產品特征

FR-InLine 膜厚儀提供半寬（蕞多 4 通道）和全寬（蕞多 8 通道）3U 機架安裝機箱，可實時測量涂層的薄膜厚度。 FR-InLine 通過標準I/控制埠為啟動/停止/復位功能提供外部觸發選項。測量數據可立即供其他軟件使用，以進一步調整生產流程。工程師可以輕易完成安裝。

4、附件

FR-InLine 附帶多個附件，例如：

§TCP/IP 通信

§支持任何特定需求長度和配置的反射探頭和光纖

§光學模塊（例如聚焦透鏡、運動支架），以協助探頭安裝在產線上

5、其他特點

提升流程運行時間和產品質量

減少原材料消耗和成本控制

6、FR-InLine 規格（標準配置）

Model	UV/Vis	UV/NIR-EXT	VIS/NIR	NIR	NIR-N1
WLRange–nm波長	200–850	200–1020	370–1020	900–1700	850-1050
Pixels像素	3648	3648	3648	512	3648
ThicknessRange*1	3nm-80um	3nm-90um	15nm-90um	200um	1um-400um
n&k-MinThick	50nm	50nm	100nm	500nm
Thick.Accuracy*2	1nm/0.2%	1nm/0.2%	1nm/0.2%	3nm/0.4%	50nm/0.2%
Thick.Precision*3,4	0.02nm	0.02nm	0.02nm	0.1nm
Thick.stability*5	0.05nm	0.05nm	0.05nm	0.15nm
LightSource	ExternalDeuterium&Halogen,2000h		Halogen(internal)3000h(MTBF)
IntegrationTime	5msec(min)			5msec(min)
Spotsize	Diameterof350um (smallerspotsizeoptionsareavailableuponrequest)
MaterialDatabase		>700differentmaterials
Connectivity			USBorTCP/IP
Power		100-240V50-60Hz

注：

*1、規格如有變更，恕不另行通知

*2、與校正過的光譜橢偏儀和x射線衍射儀的測量結果匹配

*3、超過15天平均值的標準偏差平均值，樣品:硅晶片上1微米Si2

*4、標準偏差100次厚度測量結果，樣品:硅晶片上1微米Si2,

*5、15天內每日平均值的2*標準差。樣品:硅片上1微米Si2。