納米位移電容傳感器的工作原理及典型應用

　　什么是納米位移電容傳感器

　　納米位移電容傳感器由傳感器探頭、放大器和電源組成。具有結構簡單、非接觸、頻響寬等特點，被認為是*性的微位移傳感技術，廣泛用于納米位移與定位控制系統。

　　納米位移電容傳感器的工作原理

　　納米位移電容傳感器是基于理想平板電容原理設計研發的，被測物體與傳感器各自作為一個平板電極。給傳感器一個持續穩定的交流電，交流電壓的振幅變化與電容到被測物體之間的距離成正比。交流電經過解調，可以測出位移量。電容式位移傳感器具有信噪比大、靈敏度高、頻響寬、非線性小、精度穩定性好、無損耗等特點。

　　納米位移電容傳感器的特點

　　1.非線性度小

　　非接觸式設計，測量點和被測量點之間不接觸，避免了測量時的干擾，提高了測量的精度。將對被測目標的影響降到低，解決平板電容模型邊緣效應，解決常規采集電容片電場帶來的非線性問題。

　　2.分辨率高

　　通過設計電纜屏蔽和的運放驅動法進行了優化和處理，運用運算放大器來驅動的方法，用電纜屏蔽和算法，進行優化設計，從而解決了電容值采集值放大，提高了測量的精度，并降低了干擾。解決電容傳感器采集電容容值較低，易受寄生電容和自身電容誤差帶來干擾問題，且在噪聲抑制處理，提高控制系統分辨率。

　　納米位移電容傳感器的典型應用

　　01.納米位移傳感器用于光刻機曝光鏡頭微調整系統

　　納米位移傳感器可用于光刻機的核心部件—曝光鏡頭的位置調整。

　　02.納米位移傳感器用于機床主軸位置調整

　　機床主軸的轉速可高達6000r/min。即使主軸上有微米級別的圓度差異，也會在被加工的材料上留下輕微劃傷，從而影響產品質量。為了提高質量，有必要對主軸進行圓度測量，三英精控的電容式位移傳感器可以滿足圓度測量的要求。