電容式位移傳感器基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩(wěn)定交流電通過傳感器，輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關(guān)系，從而可以通過測量電壓的變化得到距離信息。
電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。
實際應(yīng)用當中電容式傳感器可以實現(xiàn)近乎的線性測量。但是，電容傳感器要求探頭到被測物體之間的電介質(zhì)必須均勻恒定。測量系統(tǒng)對于測量范圍內(nèi)的電介質(zhì)變化非常敏感。源于電磁轉(zhuǎn)化過程，電容傳感器可以測量所有金屬。電容測量系統(tǒng)主要測量平板電阻的阻抗值，阻抗值與探頭到被測物體之間的距離成正比。
傳統(tǒng)電容式傳感器，會從電極側(cè)面散發(fā)磁力線。這中磁場會導(dǎo)致錯誤的測量結(jié)果。德國米銥公司的電容式傳感器帶有一個接地屏蔽環(huán)，可以有效減少側(cè)面磁場和邊界效應(yīng)，從而得到更加準確的測量結(jié)果。從接地屏蔽環(huán)發(fā)出的磁力線不會影響測量結(jié)果。
高精度測量電容式測量原理是幾種精度最高的測量原理之一。但是問題是，如此微小的測量距離會導(dǎo)致測量信號變化同樣微小。也就是說，在探頭和被測物體之間僅有很少量的電子可以用來顯示距離的變化。這意味著，如果有很小的漏電流或寄生電流流過探頭到控制器的電路，也會影響測量結(jié)果的準確性。因此，探頭到控制器之間的電纜需要特殊的雙屏蔽電纜。這種特殊的，全封閉的RF電纜保證了高信號質(zhì)量。雙屏蔽電纜與接地磁屏蔽技術(shù)的使用，使高精度測量成為可能。
由于環(huán)境溫度的改變，導(dǎo)致的被測物體導(dǎo)電性變化，對測量結(jié)果沒有影響。電容式測量原理使傳感器甚至可以在波動的溫度環(huán)境下使用。
