白光干涉儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產品的組合可根據不同的技術應用要求而改變。針對樣品的同一區域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現全自動化。多項技術的整合能夠使不同技術在同一檢測儀上充分發揮各自的優勢。該項整合技術不僅有利于數據的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。
白光干涉儀的測量應用：
以測量單刻線臺階為倒，在檢查儀器的各線路接頭都準確插到對應插孔后，開啟儀器電源開關，啟動計算機，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調整載物臺大概位置，對準白光干涉儀目鏡的下方。
在計算機上打開白光干涉儀測量軟件，在軟件界面上設置好目鏡下行的最小點，再微調鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設置好要掃描的距離。按開始按鈕，白光干涉儀可自動進行掃描測量，測量完成后，轉件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進行數據分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數。
白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。白光干涉儀*的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
白光干涉儀由以下及部分構成：
光學照明系統 ，采用鹵素光源，其中心波長為576納米，光譜范圍從340納米到780納米。光學成像系統 采用無限遠光學成像系統，由顯微物鏡和成像目鏡組成。垂直掃描控制系統 由壓電陶瓷以及控制驅動器構成，采用閉環反饋控制方法，可精密驅動顯微物鏡上下移動，移動范圍100mm。位置移動精度為0.1納米。信號處理系統 信號處理系統是該儀器的核心部分，由計算機和數字信號協處理器構成。利用計算機采集一系列原始圖像數據。然后使用專用的數字信號協處理器完成數據解析作業。應用軟件 應用軟件主要由操作控制部分，結果顯示部分以及后處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測量儀器。同時，以三維立體，二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實時測量結果。并可對測量結果作進一步的修正處理。
